今年全国两会期间,集成电路被明确列为新兴支柱产业之首,并提出实施产业创新工程、开放应用场景、加强关键核心技术攻关等一系列部署。随着国家持续加大对半导体产业链的支持力度,超纯水作为芯片制造关键配套产业,其发展不断提速。作为聚焦于芯片制造等电子核心产业的超纯水系统供应商,高频科技以先进的超纯工艺水平及专业的技术服务能力,为半导体企业发展提供水质保障,赋能高端制造。
超纯水质精准把控,适配高端制造核心需求
在芯片制造的数百道工序中,超纯水作为贯穿全程的清洗介质,其纯度直接影响芯片的良率和性能。随着制程工艺日益先进,对超纯水中微量杂质的控制要求已从ppb级(十亿分之一)提升至ppt级(万亿分之一),技术壁垒极高。
作为国家高新技术企业,高频科技深耕半导体高端制造行业超纯水领域二十余年,凭借技术持续精进实现突破,其超纯水系统制备的超纯水纯度达到ppt级别,精准满足各类半导体产线的严苛需求。
高频科技不仅是国内最早从事芯片领域超纯水系统业务的企业之一,亦是国内具备12英寸14nm芯片产线超纯水制备能力的系统供应商。其超纯水系统集成了预处理、初级处理、抛光等18项以上专业专利处理工艺环节,并通过8次增压提升和24小时不间断循环配送,确保水质稳定、水量充足。目前,该超纯水系统已广泛适用于国内知名芯片制造企业,为关键产线的稳定投产、产品良率和性能的提升提供了可靠保障,收获行业认可。
废水处理与回用系统:助力资源节约与可持续发展
在双碳目标引领下,半导体产业绿色转型势在必行。高频科技构建了全流程废水处理与回用体系,针对半导体制造过程中产生的酸碱废水、含氟废水、研磨废水、含铜废水等各类废水,其电子级废水处理技术能够根据杂质特性,采用针对性的工艺高效、经济地完成处理,助力半导体工厂提升绿色厂务水平。
同时,高频科技依托前瞻性设计能力打造回用水系统,能够对制程机台产生的30多道废水进行合理的分流、回用,项目水平衡可实现整厂用水的制备回收率高达90%,帮助客户有效降低水资源消耗和运营成本,实现高质量发展。
从技术突破到产业赋能,高频科技以超纯工艺为核心,持续为半导体高端制造提供稳定高效的水处理解决方案。随着本土超纯水工艺研发及应用能力的提升,水质标准与资源效率正不断迈向新高度,为我国集成电路产业高质量发展提供坚实支撑。
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